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氟隆化工氟聚乙烯止回阀B型

Flon氟隆化工氟聚乙烯止回阀B型NR1115是全 PTFE 无金属接触、宝塔软管直插式微型单向止回阀,依靠全氟耐腐蚀洁净结构、低开启压差零反向渗漏特性,用于半导体高纯腐蚀药液管路阻断介质倒流。

  • 产品型号:NR1115
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-29
  • 访  问  量:18
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Flon氟隆化工氟聚乙烯止回阀B型NR1115

Flon氟隆化工氟聚乙烯止回阀B型NR1115

一、品牌与产品定位

品牌:株式会社フロンケミカル(Flon 氟隆化工 AtFlon 事业部),日本高纯氟树脂流体元件专业厂商,深耕半导体、精密电子化学品、强腐蚀药液管路配件。
产品全称:NR1115 B 型氟聚乙烯(PTFE)单向止回阀(逆流防止阀),属于小型软管插尾式单向阀,专为微量高纯腐蚀药液管路防倒流设计,是湿法清洗、微量滴定设备标配微型单向阀。

二、完整材质构成(全氟无金属接触介质)

  1. 阀体主体:一体成型高纯 PTFE(聚四氟乙烯),无金属内衬、无金属弹簧接触药液,零金属离子析出,耐强酸强碱、光刻有机溶剂、显影液等各类强腐蚀介质。

  2. 内部阀芯密封组件:PTFE 浮球阀芯 + 氟橡胶全氟 O 形圈,密封面良好,不吸附药液微粒。

  3. 两端接头:一体成型宝塔式软管插尾(竹节接头),适配标准 PFA/PTFE 高纯软管,直接插装锁紧,无需螺纹配件,拆装便捷。

  4. 内部弹性件:无外露金属弹簧,内置氟树脂包覆弹性结构,隔绝腐蚀介质,杜绝金属溶出污染晶圆工艺。

三、核心技术规格

  1. 通径规格:NR1115 系列分 4 种管径(6/8/10/12mm),适配对应外径 PTFE 软管。

  2. 耐压参数:常温 25℃额定耐压 0.4MPa,最大允许工作压力 0.5MPa;开启压差极小,低压微量药液即可顺畅导通。

  3. 温度区间:流体适用温度 5~80℃,环境工作温度 0~40℃,冷热交替不易形变渗漏。

  4. 流向结构:直通式流道,流体正向通行阻力低;反向时浮球自动贴合阀座,实现零泄漏阻断倒流。

  5. 安装方式:水平 / 垂直均可安装,小巧圆柱形机身,适配药液柜、小型设备狭小安装空间。

四、工作原理

正向流体压力推动内部 PTFE 浮球离开阀座,管路导通;当流体压力消失或出现反向回流时,介质压力将浮球压紧至全氟密封阀座,瞬间切断反向通路,防止药液倒流、交叉污染、泵体空吸损坏。

五、产品核心优势

  1. 可观洁净无析出:全 PTFE 接液结构,全程无金属接触介质,满足半导体超高纯工艺洁净标准,无微粒、重金属离子污染晶圆。

  2. 全介质强耐腐蚀性:PTFE 本体耐受几乎所有强酸、强碱、有机溶剂、蚀刻清洗药液,无溶胀、不被介质腐蚀破损。

  3. 软管直插式简易装配:两端一体宝塔插尾,直接插接氟树脂软管,无需螺母、卡套配件,快速集成微型阀组。

  4. 微型紧凑轻量化:圆柱一体化成型,体积小巧,节省设备内部安装空间,适配微量供液、取样、循环支路。

  5. 低流阻 + 零反向渗漏:直通大口径流道降低药液输送损耗;氟橡胶全氟密封座,反向承压无渗漏,杜绝不同药液混料污染。

  6. 长效耐用易清洗:内腔平滑,纯水 / 高纯溶剂吹扫无残液残留,可长期反复使用,维护成本低。

六、主流应用场景

  1. 半导体湿法设备:晶圆清洗、蚀刻、显影设备微量药液供液支路,防止药液回流污染药桶;

  2. 光伏 / 面板制造:酸碱清洗液、蚀刻剂循环管路单向防护;

  3. 精密化工实验室:高纯试剂、微量滴定输送管路防倒流;

  4. 医疗高纯流体设备、微量计量泵配套保护阀,防止泵体负压回流损坏泵头。

七、同系列型号区分

  • B 型(NR1115):宝塔软管插尾式,适配柔性 PTFE 软管,设备微型管路;

  • A 型:内螺纹连接款,适配硬管螺纹管路;

  • C 型:内置金属包覆弹簧,适配更高压差工况。


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