氟隆化工氟食素塞阀双向空气操作

Flon氟隆化工氟食素塞阀双向空气操作VC-G型

Flon氟隆化工氟食素塞阀双向空气操作VC-G型

一、品牌与产品基础定位

品牌：株式会社フロンケミカル（Flon 氟隆化工，AtFlon 事业部），日本专业氟树脂流体控制厂商，专注半导体、高纯药液、强腐蚀化工管路全氟阀门、管件研发生产。

产品全称：NR1117 氟树脂 PTFE 柱塞阀 VC-G 型（双向空气操作 / 复动式气动塞阀），属于 VC 手动柱塞阀系列的气动驱动升级款，专为高纯腐蚀药液自动化通断控制设计。

二、核心结构与材质配置

1. 流体接触区（全氟耐腐蚀洁净体系）

阀体、柱塞阀芯：PTFE（聚四氟乙烯），耐绝大多数强酸、强碱、有机溶剂、光刻药液、蚀刻液，无金属析出、无离子污染，适配半导体超高纯工艺。

密封件：全氟 Perfluoro O 型圈，零溶出、耐化学溶胀，无残留药液。

2. 气动驱动执行机构（黑色上部组件）

壳体材质：PPS 高强度工程塑料，耐酸碱环境气体腐蚀，抗老化。

驱动模式：复动双向空气操作（双作用气动），开启、关闭均需通入压缩空气驱动，无内置弹簧，适合高频往复开关、高压药液工况。

配套附件：顶部位置指示表盘，直观显示阀门全开 / 全关状态；双气动进气接口，独立控制开 / 关动作。

3. 安装底座

一体式 PPS 固定底座，预留标准安装孔，可直接锁付设备机架、药液柜内部，模块化集成安装。

三、标准技术参数

气动操作气源

标准驱动气压：0.4~0.5MPa；最大允许气源压力 0.7MPa；仅 6mm 通径型号上限 0.5MPa。

流体工况参数

介质压力（25℃）：最高 0.4MPa；

流体温度区间：5℃~80℃；环境温度 0~40℃；

通径规格：6/8/10/12mm 多管径可选，直通大口径流道，流体压力损失极低。

连接方式

标准直插式软管接头，适配 PFA/PTFE 高纯软管，无螺纹金属接触污染。

操作特性：90° 柱塞旋转通断，全通径流道无节流死角，便于药液吹扫、无残液滞留。

四、工作原理

双向双作用气动驱动，两组独立气路分别控制阀芯旋转：

向「开阀气口」通气 → 活塞推动柱塞旋转 90°，管路可导通；

向「关阀气口」通气 → 反向气压推动柱塞回转 90°，管路可切断；

断气时阀门保持当前状态（保位型），不会自动复位，适合需要断电保流的工艺环节。

五、核心产品优势

耐化学 + 超高洁净

全 PTFE 接液结构，无金属、无橡胶内衬，适配半导体光刻液、蚀刻液、显影液、强酸碱高纯化学品，满足晶圆制造高洁净等级要求，无微粒、金属离子析出。

双向气动适配高频自动化

双作用无弹簧结构，开关响应速度快，可实现每秒数次高频切换，适配自动化药液循环、多工位供液系统；断气保位，避免意外停机造成工艺报废。

低流阻、无残液

直通柱塞流道，内腔平滑无凹陷死角，清洗吹扫无药液残留，杜绝不同药液交叉污染。

紧凑型模块化设计

气动执行器与阀体一体化成型，体积小巧，节省设备控制柜安装空间；底座标准化开孔，可多阀并排集成阀组。

长效稳定密封

全氟 O 圈与 PTFE 柱塞面密封，长期耐化学溶胀，无渗漏，无外漏污染风险。

六、主流应用场景

半导体晶圆制造：刻蚀、清洗、镀膜设备高纯药液输送管路开关阀；

精密化工 / 电子化学品：强酸强碱、有机溶剂自动供液、分路切换；

光伏 / 面板制程：清洗药液、蚀刻液自动化流体控制；

实验室高纯流体设备：高纯度试剂自动循环、取样管路。

七、同系列区分与选型提示

VC（手动款）：手轮 90° 旋转控制，适合手动调试工位；

VC-G（双向气动复动款）：双气控保位，自动化产线高频切换；

区分单作用弹簧复位型：VC-G 无弹簧，断气保持状态；单作用阀断气自动复位，不可互换。