氟隆化工PCTFE双向母螺线圈阀

氟隆化工PCTFE双向母螺线圈阀NR2513

氟隆化工PCTFE双向母螺线圈阀NR2513

一、品牌背景与型号编码解析

1. 厂商简介

Flon（フロンケミカル，氟隆化工）日本原厂，专注高纯氟树脂防腐流体阀件，产品面向半导体湿法、微量化学分析、体外诊断设备；全系介质接触面无金属，主打 PCTFE 硬质阀体微型隔膜电磁阀，是日系微量药液输送设备标准配套品牌。

2. NR2513 完整型号定义

NR25XX = 二通双向 M6 内螺纹直动隔离式电磁阀系列

NR：2 通双向隔膜电磁阀系列代号

25：微型紧凑型阀体规格，适配设备狭小集成空间

13：核心区分代码（原厂 CT 后缀 = PCTFE 阀体，本体物料号 FSDH-0208C-CT）

阀体材质：PCTFE 聚三氟氯乙烯

通径孔径：φ2.0mm（全系最小标准通径）

连接规格：两端 M6×1.0 母内螺纹

温压等级：长期介质 90℃、标准 0~0.4MPa 双向承压

动作细分型号

NR2513-NC：常闭型（断电关阀，通电导通，行业主流）

NR2513-NO：常开型（断电流通，通电关断）

3. 产品核心定位

NR25 系列最小通径 PCTFE 双向电磁阀，主打超微量高精度药液输送；集成双向零泄漏 + 关阀 Suck-back 残液自吸功能，硬质 PCTFE 阀体兼顾耐温、抗蠕变、短时蒸汽灭菌，适配芯片微量滴定、色谱仪器、微量生化试剂管路。

二、整机材质分层（介质接触区零金属析出）

1. 过流接触部件（全氟无橡胶复合层）

阀体本体：PCTFE（聚三氟氯乙烯）

核心优势：硬度高、抗冷流蠕变，长期受压不膨胀渗漏；气体阻隔性远优于 PTFE；半透明可目视内部结晶；支持 130℃短时蒸汽灭菌；螺纹强度高，不易拧裂。

耐化学：全浓度 HF 、强酸强碱、光刻液、有机溶剂、超纯水，无溶胀、无离子析出。

耐温区间：长期介质 - 80℃ ~ +90℃；瞬时灭菌 120~130℃（单次≤30s）。

隔离隔膜：一体成型纯 PTFE 薄膜

隔绝铁芯、弹簧金属件，无 FKM/EPDM 夹层，杜绝溶剂腐蚀、微粒脱落，满足半导体 Class100 洁净制程。

流道、阀座：PCTFE 一体铣削成型，无拼接缝隙，低吸附、不易药液挂壁结晶。

螺纹密封耗材：仅允许 PTFE/PFA 生料带，禁用普通橡胶垫片。

2. 非介质接触部件（隔离药液）

线圈外壳：阻燃耐腐工程塑料

铁芯、复位弹簧：316 不锈钢（隔膜隔绝，不接触流体）

安装底座：改性 PP 耐腐基座

接线端子：镀金防锈端子

三、结构设计与工作原理

1. 四层模块化整体结构

电磁驱动单元：线圈 + 不锈钢动铁芯 + 复位弹簧总成

隔离密封层：PTFE 隔膜（流体 / 金属物理隔绝核心）

PCTFE 对称双向直通阀体（两端 M6 母螺纹、φ2mm 微小流道）

安装底座：双侧标准安装通孔，壁挂 / 面板固定两用

2. 双向通断控制逻辑（直动式，零压差启动）

NC 常闭款（标配）

断电：弹簧下压隔膜压紧阀座，双向流路同步切断，正反双向零泄漏；

通电：线圈电磁吸力提拉铁芯，隔膜抬升，阀体两端双向自由流通；

断电复位：弹簧下压，重新密封关断。

NO 常开款

断电隔膜自然抬起，双向管路导通；通电铁芯下压压紧阀座，双向同步截止。

双向无区分流道特性

阀体对称，进出口无标识区分，正向 / 反向承压、密封性能一致；适配药液循环、真空抽吸、双向微量输送回路，简化设备布管。

标配 Suck-back 残液回收结构

阀门关闭瞬间隔膜下压压缩阀腔，产生微量负压，自动吸回阀口微量残留药液；杜绝光刻溶剂、滴落污染晶圆、检测芯片，微量滴定工位刚需功能。

3. 微小流道设计优势

φ2mm 超小孔径、短直通内腔，内壁镜面光滑；药液滞留量极低，换液冲洗残留少，流量波动极小，满足纳升级高精度微量给药需求。

四、完整标准化技术参数（原厂规格）

1. 机械尺寸参数

2.压力工况参数

常温标准工作压力：0~0.4MPa（25℃）

双向承压均等，无单向压差限制

真空适配：稳定耐受 - 0.09MPa 负压真空管路

瞬时冲击耐压：0.5MPa，禁止长期超压运行

3. 温度参数

介质长期工作温度：-80℃ ~ +90℃

瞬时蒸汽灭菌上限：130℃，单次灭菌≤30s，频繁高温加速隔膜老化

线圈环境工作温度：0~50℃，禁止线圈浸泡药液、长期高温烘烤

4. 电气线圈参数

标准标配电压：DC24V（半导体 / 分析仪通用）

可选电压：AC100V、AC220V

线圈功耗：3.0W 低功耗，24h 连续通电不易发热

防护等级：IP54，洁净车间通用；潮湿工况可选防水护套

接线方式：快插式插头，免工具拆装

5. 流体洁净指标

内泄漏：双向液体 / 气体零泄漏；阀体外部无渗漏

洁净等级：适配半导体 Class100、体外诊断高洁净制程

析出控制：无金属离子、塑化剂析出，不污染光刻胶、生化试剂

五、五大核心差异化优势

全系最小 φ2mm 通径，超高微量流量控制精度

对比 NR2514 (φ4)/NR2515 (φ5)/NR2516 (φ9.5)，NR2513 流道最小，药液流量稳定、脉冲波动极小，适合纳升级微量滴定、微量药剂供给。

PCTFE 硬质阀体，解决 PTFE 阀体蠕变渗漏缺陷

同系列 PTFE 阀体 NR2505 长期受压易变形、螺纹缓慢渗漏；NR2513 PCTFE 刚性强、尺寸稳定，支持短时蒸汽灭菌，适配消毒、高温微量药液工况。

双向通断 + 关阀自吸二合一，精简设备管路

单阀同时实现双向切断 + 残液回收，无需额外增设回收阀，减少管路接头、缩小设备内部占用空间，降低交叉污染风险。

全氟隔离零金属接触，超高介质洁净度

PTFE 隔膜隔绝电磁金属运动部件，药液全程仅接触 PCTFE/PTFE，无金属溶出，不会造成晶圆良率损耗、生化试剂变质失效。

超小型轻量化，密集集成适配性强

68g 微型机身、M6 微型母螺纹，适配小型液相色谱、微型晶圆清洗机、便携式诊断设备密集布管场景。

六、NR25 全系列横向通径 / 材质对比表

七、行业应用与典型工况

1. 半导体晶圆制造（核心场景）

光刻微量给药：光刻胶、稀释溶剂精准微量输送，Suck-back 杜绝药液滴落污染晶圆

小型湿法清洗工位：微量 HF 蚀刻液、显影液通断控制

真空微量药液供给、芯片载具微型清洗设备配套

2. 精密实验室 & 分析仪器

液相色谱、离子色谱腐蚀性试剂切换阀，纳升级微量流体控制

微量酸碱试剂自动滴定装置、低温冷媒微型循环管路

3. 医疗 / 体外诊断设备

生化分析仪微量试剂输送管路、小型免疫检测设备流体阀

可短时蒸汽灭菌，无介质吸附、无生物杂质污染，满足医用合规要求

4. 新能源 & 微型精密化工

实验室锂电池电解液微量进料、微型腐蚀反应釜微量药剂切换

小型电镀设备微量添加剂精准供给管路

八、安装规范、分级维护与故障排查

1. 标准安装要求

螺纹密封：仅使用 PTFE/PFA 生料带缠绕 M6 内螺纹，禁止橡胶垫片；拧紧力度轻柔，避免 PCTFE 螺纹崩裂。

安装朝向：阀体任意角度均可，优先线圈朝上，阀体下方预留排液空间，防止药液挥发腐蚀线圈。

前置过滤：管路前端加装 5μm 氟树脂过滤器，固体颗粒划伤 PTFE 隔膜会造成内漏。

布线防护：线圈远离药液槽、蒸汽出口，规避长期高温老化。

2. 分级维护方案

每日巡检

目视阀体螺纹、接缝有无渗漏；检查阀门通断响应速度；线圈有无药液腐蚀发白、异常发热。

季度深度保养（强腐蚀 / 结晶介质）

拆解阀体，使用适配溶剂 / 超纯水冲洗流道结晶沉积物；

检查 PTFE 隔膜表面是否硬化、划痕、褶皱，出现损伤直接更换原厂同规格隔膜；

清理线圈表面挥发药液结晶，避免短路。

耗材更换周期

常温纯水 / 弱溶剂洁净工况：隔膜 12~18 个月更换

高温、HF 强腐蚀介质：隔膜 6~9 个月更换

PCTFE 阀体本体无易损结构，可长期重复使用

3. 高频故障与解决办法

阀门关不严、内部渗漏

诱因：隔膜划伤、阀座结晶颗粒卡滞；处理：拆解清洗阀体，更换全新 PTFE 隔膜。

通电无启闭动作

诱因：线圈断路、供电电压不符、结晶卡死隔膜；处理：检测供电、拆解清洗流道、更换线圈组件。

螺纹位置外部漏液

诱因：生料带缠绕不足、拧紧力矩过大胀裂 PCTFE 螺纹；处理：重新缠绕生料带，轻力锁紧螺纹。

关阀吸残效果变差

诱因：隔膜弹性衰减、疲劳变形；处理：更换原厂隔膜总成。

九、产品综合总结

Flon NR2513 是 NR25 系列PCTFE 材质超微量专用双向母螺电磁阀，核心差异化为 φ2mm 最小通径，适配纳升级高精度微量流体控制；搭配硬质 PCTFE 阀体、一体式 PTFE 隔离隔膜、双向零泄漏与关阀自吸残液功能。