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HONDA本多电子 石英振动体清洗机

产品简介

HONDA本多电子 石英振动体清洗机
实现低损伤和高清洁度的新一代清洁，具有小型化图案的晶圆，具有低损伤 ■ 超声波叠加在石英振动体上，清洗半导体晶圆通过
化学溶液将超声波振动从石英振动器传播到半导体晶圆，接触点处的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。
■ 实现清洁清洁，减少对半导体晶圆的损坏通过使用石英与化学溶液接触，与使用橡胶材料的设备（如填料）相比，不会出现橡胶的洗脱或磨损。

产品型号：W-357-1MQG-SKC
更新时间：2025-12-05
厂商性质：经销商
访问量：978
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品牌HONDA/本多电子仪器种类通用型
价格区间5千-1万产地类别进口
应用领域医疗卫生,环保,电子/电池,制药/生物制药,综合电源输入AC100V
质量2.2kg

HONDA本多电子 石英振动体清洗机

实现低损伤和高清洁度的新一代清洁，具有小型化图案的晶圆，具有低损伤 ■ 超声波叠加在石英振动体上，清洗半导体晶圆通过

化学溶液将超声波振动从石英振动器传播到半导体晶圆，接触点处的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。

■ 实现清洁清洁，减少对半导体晶圆的损坏通过使用石英与化学溶液接触，与使用橡胶材料的设备（如填料）相比，不会出现橡胶的洗脱或磨损。

2006年，我们成为一家将石英振动超声波清洗装置商业化的公司。在这种方法中，超声波叠加在石英振动器上以清洁半导体晶圆。
      与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学溶液的使用量，并且由于接液部件仅是石英玻璃和橡胶材料（如填料）不与液体接触，因此可以保持高水平的清洁度。
      此外，通过根据用途准备石英振动器的形状，可以根据需要进行有效的清洁，例如低损伤清洁、大面积清洁以及斜面（端面）和缺口（晶圆端面的切口）的清洁。



微信截图_20240116171926.png


















HONDA本多电子 石英振动体清洗机

由于配备了换能器冷却功能，因此通过用气体（氮气等）冷却换能器，可以稳定连续运行，而不会出现频率波动。此外，通过冷却，温度不会突然变化，使用寿命长。

磨边后的抗蚀剂残留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的栅极电极清洗

振荡器

型W-357-1MQG-SKC型
振荡模式单频振荡
额定功率12
标称振荡频率1兆赫
电源输入AC100V~240V
单相 50/60Hz 300VA
尺寸
：宽x深x高		180×250×100
（不包括突起部分，包括橡胶脚垫）
质量数量2.2千克

● 工作液温度范围：20~50°C
● 换能器：PZT
● 材质：振动体：石英玻璃，包装：硅橡胶，外壳：PCTFE
● 线长：输出线1.5米+继电器线3.5米
● 空气吹扫接头：兼容管（外径φ6）

* 2MHz 和 3MHz 也可提供定制规格。



振动体

流量未定
长度159毫米
卡盘截面尺寸φ24毫米
照射面积24厘米2
质量600克

● 工作液温度范围：20~50°C
● 换能器：PZT
● 材质：振动体：石英玻璃，包装：硅橡胶，外壳：PCTFE
● 线长：输出线1.5米+继电器线3.5米
● 空气吹扫接头：兼容管（外径φ6）

 * 2MHz 和 3MHz 也可提供定制规格。


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