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日本KITZ‑SCT气动隔膜阀VLD8CS‑VC‑EP‑316L的介绍

更新时间:2026-08-27      浏览次数:10

半导体、光伏锂电、实验室高纯气路系统中,管路阀门的洁净度、密封性、低颗粒析出性能,直接影响工艺良率。日本 KITZ 开滋‑SCT 推出的VLD8CS‑VC‑EP‑316L 低压气动高纯隔膜阀,传承经典 KD 系列成熟洁净技术,兼顾稳定性能与高性价比,是低压高纯气体管路自动化通断控制优选方案。  

VLD 系列属于经济型气动金属隔膜阀,专为低压高纯工况打造;VLD8CS‑VC‑EP‑316L 为二通直通、M‑CVC 外螺纹 VCR 连接、常闭 NC 气动驱动。阀体采用316L 不锈钢,流道内部 EP 电解抛光处理,阀座选用 PCTFE 密封材料,有效减少微粒产生,保障高纯介质不受污染。作为 KD 系列的经济型衍生版本,保留原厂耐用品质,优化内部结构,在半导体支线气路、惰性气体输送、真空管路控制等场景实现降本增效。

核心技术参数

  • 型号:VLD8CS‑VC‑EP‑316L

  • 驱动方式:气动、弹簧复位‑常闭(NC)

  • 接口规格:1/4 英寸,M‑CVC 公头 VCR 连接

  • 阀体材质:316L 不锈钢

  • 内表面处理:EP 电解抛光

  • 阀座密封:PCTFE

  • 最大工作压力:0.98MPa

  • 流体温度:‑10℃~80℃

  • 环境温度:‑10℃~60℃‑ 流量系数 Cv:0.27‑ 适用介质:高纯氮气、氩气、氢气、特种腐蚀气体、真空管路等KITZ SCT C...

产品核心优势

1、EP 电解抛光流道,高纯洁净,低颗粒析出

316L 不锈钢流道经过精密电解抛光处理,内壁光滑,气体冲刷不易产生金属微颗粒,可满足半导体、新材料行业高纯供气的洁净要求,避免微粒污染腔体与晶圆。

2、气动弹簧常闭结构,安全断气保护

气源失压时阀门自动关闭,切断气路,为工艺管路提供安全保障;开关响应迅速,适合高频次自动化循环通断控制。

3、成熟密封结构,长期零泄漏

PCTFE 阀座搭配原厂金属隔膜组件,密封性能稳定,抗腐蚀性强;阀内死区容积小,吹扫置换效率高,减少气体残留。

4、高性价比,继承 KD 品质

基于 KITZ‑SCT 经典 KD 隔膜阀技术平台开发,保留原有耐用性能,精简结构,相比 KD 系列有效降低采购成本,适合大批量支线管路配套,平衡品质与项目预算。

5、VCR 密封连接,拆装便捷

标准 M‑CVC 外螺纹接口,VCR 金属面密封,无泄漏、拆装维护方便,管路重复拆装依然可以保证密封可靠性。

主流应用场景

半导体设备支线气路:机台惰性供气、吹扫管路、真空管路通断控制✅ 光伏、锂电新能源产线:高纯保护气体输送阀门✅ 实验室气体控制柜、特气面板:高纯气体自动开关✅ 精细化工、分析仪器:腐蚀性低压高纯流体管路控制






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